A new FEM approach for field and torque simulation of electrostatic microactuators / F. DELFINO; M. ROSSI. - In: JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS. - ISSN 1057-7157. - STAMPA. - 11(2002), pp. 362-371.

A new FEM approach for field and torque simulation of electrostatic microactuators

DELFINO, FEDERICO;ROSSI, MANSUETO
2002

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