Surface Evolution during the Chemical Mechanical Planarization of Copper / CHE W; BASTAWROS A; CHANDRA A; P. LONARDO. - STAMPA. - 55/1(2006), pp. 605-608.
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Titolo: | Surface Evolution during the Chemical Mechanical Planarization of Copper |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2006 |
Rivista: | |
Citazione: | Surface Evolution during the Chemical Mechanical Planarization of Copper / CHE W; BASTAWROS A; CHANDRA A; P. LONARDO. - STAMPA. - 55/1(2006), pp. 605-608. |
Handle: | http://hdl.handle.net/11567/221109 |
Appare nelle tipologie: | 01.01 - Articolo su rivista |
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