Design and Fabrication of the KID-Based Light Detectors of CALDER

Colantoni, I; Bellini, F.; Cardani, L.; Casali, N.; Castellano, M. G.; Coppolecchia, A.; Cosmelli, C.; Cruciani, A.; D’Addabbo, A.; Di Domizio, Sergio; Martinez, M.; Tomei, C.; Vignati, M.

doi:10.1007/s10909-015-1452-1

CINECA IRIS Institutional Research Information System

IRIS è la soluzione IT che facilita la raccolta e la gestione dei dati relativi alle attività e ai prodotti della ricerca. Fornisce a ricercatori, amministratori e valutatori gli strumenti per monitorare i risultati della ricerca, aumentarne la visibilità e allocare in modo efficace le risorse disponibili.

The goal of the Cryogenic wide-Area Light Detectors with Excellent Resolution project is the development of light detectors with large active area and noise energy resolution smaller than 20 eV RMS using phonon-mediated kinetic inductance detectors. The detectors are developed to improve the background suppression in large-mass bolometric experiments such as CUORE, via the double read-out of the light and the heat released by particles interacting in the bolometers. In this work, we present the design and the fabrication process, starting from the silicon wafer arriving to the single chip. The Al thin films (40 nm) are evaporated on high-quality, high-resistivity (>10kΩcm) Si(100) substrates using an electron beam evaporator in a high-vacuum chamber. Detectors are patterned in direct-write mode, using electron beam lithography , positive tone resist poly-methyl methacrylate and lift-off process. Finally the wafer is diced into 20Â Ã 20 mm2 chips and assembled in a holder OFHC copper (oxygen-free high conductivity) using PTFE supports.

Scheda prodotto non validato

Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo

Risorse UNIGE

Titolo:	Design and Fabrication of the KID-Based Light Detectors of CALDER
Autori:	Colantoni, I Bellini, F. Cardani, L. Casali, N. Castellano, M. G. Coppolecchia, A. Cosmelli, C. Cruciani, A. D’Addabbo, A. DI DOMIZIO, SERGIO Martinez, M. Tomei, C. Vignati, M. mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2016
Rivista:	JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
Citazione:	Design and Fabrication of the KID-Based Light Detectors of CALDER / Colantoni, I; Bellini, F.; Cardani, L.; Casali, N.; Castellano, M.G.; Coppolecchia, A.; Cosmelli, C.; Cruciani, A.; D’Addabbo, A.; Di Domizio, S.; Martinez, M.; Tomei, C.; Vignati, M.. - In: JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS. - ISSN 0022-2291. - STAMPA. - 184(2016), pp. 131-136.
Handle:	http://hdl.handle.net/11567/853629
Appare nelle tipologie:	01.01 - Articolo su rivista

File in questo prodotto:

Non ci sono file associati a questo prodotto.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento:
http://hdl.handle.net/11567/853629

Citazioni

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.