All-oxide microcantilevers: Perspectives for device applications2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII)

PELLEGRINO, LUCA;MANCA, NICOLA;BIASOTTI, MICHELE;BELLINGERI, EMILIO;CERIALE, VALENTINA;SIRI, ANTONIO;MARRE', DANIELE
2013

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